CM300xi提供微暗室屏蔽和增强型微暗室(带Guard层）版本，全自动机型配置MHU,可处理25张8英寸或者12英寸晶圆。

应用领域:

IV/CV,RF/mmW, Failure Analysis, WLR,SiliconPhotonics

·屏蔽技术、低漏电技术、温度稳定性技术、智能扎针技术。

·具有高度配置灵活性、符合人体工程学等特征，方便操作等。

·最小漏电侦测能力3fA

·射频DC-1.1THz范围能力

·支持负载-牵引Load-Pull测试

·支持温变无人值守测量能力

·支持最小Pad尺寸可达25um*35um